晶圆电阻率测试仪采用非接触方式测量晶圆电阻率,测量P/N类型和晶圆厚度,适合硅材料和其它材料的Sheet Resistance测量。
晶圆电阻率测试仪应用
晶圆制造，晶圆品控，晶圆检测等。
晶圆电阻率测试仪规格参数
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晶圆电阻率测试仪-低电阻测量
| Gauge Types |
Wafer Diameter |
精度 |
重复精度 |
Resistivity Range |
Thickness Range |
说明 |
| MX 604 / MX 604-B |
silicon blocks |
±3% |
|
0.25 - 25 Ohm*cm |
|
|
| MX 604-S |
2" - 8" |
±3% |
0.5% |
0.1 - 50 Ohm/square |
200 - 900µm |
|
| MX 604-ST |
125x125, 156x156mm
2"-6" |
±5% |
|
0.06 - 30 Ohm*cm |
60 - 300µm |
|
| MX 608 |
6", 8" |
|
|
0.001 - 200 Ohm*cm |
500 - 800µm |
厚度，TTV,电阻率，P/N掺杂 |
| MX 608-q |
125x125, 156x156mm |
|
|
0.1 - 50 Ohm*cm |
150 - 350µm |
厚度，TTV,电阻率 |
| MX 6012 |
8", 12" |
|
|
0.001 - 200 Ohm*cm |
600 - 900µm |
厚度，TTV,电阻率，P/N掺杂 |
晶圆电阻率测试仪-低电阻测量
| Gauge Types |
Wafer Diameter |
Resistivity Range |
Thickness Range |
| MX 601 |
up to 6" |
5E4 to 5E9 Ohm*cm |
350 - 650µm |
| MX 6010 |
2", 3", 4" |
2E5 to 2E9 Ohm*cm |
300 - 600µm |
