这款光电测试探针台是专业为8英寸和12英寸晶圆光电流测试设计的专业半自动变温光电探针台,可满足8英寸和12英寸晶圆变温光电测试需要,测试温度范围-60~350℃,特别适合高温和低温环境下晶圆变温测试和射频测试,可以实现自动晶圆对准和自动芯片对准。
光电测试探针台特点
可选择6'',8''晶圆和12''晶圆配置
测试温度：-60℃~350℃
适合高功率器件测试20kV DC/200A
可选择芯片固定配件
可配备护罩，防止露水凝结
可配备屏蔽罩，提供较低噪音环境
配备专用测试软件，提高晶圆测试效率
采用图像识别技术，可以实现自动晶圆对准和自动芯片对准
光电测试探针台应用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探针测试：20KV DC/200A
RF射频测试
高功率器件测试20kV DC/200A
各种电阻测量，如sheet电阻测量
高温和低温环境下的温度特性测试
可靠性测试，如TDDB
光电测试探针台可选配件
Thermal chuck from -60℃~+350°C
355nm~1064nm激光切割机
各种光源
三目显微镜（标配体视显微镜）
CCD相机
Probe card (4.5 inch square PCB)
光电测试探针台可连接配合的测试仪器
设备分析仪/参数分析仪
功率器件分析仪
源度量单位
曲线跟踪器
精密LCR仪表
数字万用表
阻抗分析仪
网络分析器
光电测试探针台规格参数
| 型号 | AP-200 | AP-300 |
| 晶圆卡片尺寸 | ~8英寸 | ~12英寸 |
| XY位移台行程（粗调） | X:200mm, Y:400mm | X:320mm, Y:500mm |
| XYZ位移台控制精度 | 0.1μm | 0.1μm |
| XYZ位移台重复定位精度 | ±2μm | ±3μm |
| XY位移台精度 | ±5μm | ±10μm |
| XY位移台移动速度 | 30㎜/sec(Max) | 25㎜/sec(Max) |
| Z位移台行程范围 | 30mm | 80mm |
| Z位移台移动速度 | 25㎜/sec(Max) | 25㎜/sec(Max) |
| 位移台θ范围 | ±5deg | ±6deg |
| θ分辨率 | 0.001度 | 0.000022294deg |
| 尺寸 | W760×D1000×H1020㎜ | W880×D1260×H1030㎜ |
| 重量 | 400kg | 800kg |
