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压电旋转定位台
  • 压电旋转定位台_压电旋转定位器采用德国smaract压电旋转台技术包含SR-1908_SR-2013_SR-2812

压电旋转定位台

压电旋转定位台SR-1908是采用压电旋转台技术的压电旋转定位器,采用压电电机驱动可实现360度无限旋转。孔径7-9mm,旋转角度分辨率< 2 μ°,360度可旋转,负载300g,角速度25~45度/秒。
型号:
FPSMA-SR-1908
品牌:
孚光精仪
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-2279 9028 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-**的进口激光精密科学仪器服务商欢迎您!

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压电旋转定位台SR-1908是采用压电旋转台技术的压电旋转定位器,采用压电电机驱动可实现360度无限旋转。
压电旋转定位台SR-1908集成光学编码器确保***高闭环定位分辨率(低于1μrad)和***高重复精度(高达5μrad)。
我们为用户提供几种标准压电旋转定位台方便用户选择,例如非磁性材料和超高真空(UHV)兼容性等,此外所有压电旋转定位台都可以根据用户需求定制.
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压电旋转定位台规格参数
型号 SR-1908 SR-2013 SR-2812
口径 7mm - 9mm
S闭环传感器分辨率 - 25 μ° 25 μ°
角度分辨率 < 300 μ° <2 μ° <1 μ°
定位台尺寸 24.7 x 20 x 8.5 mm3 25.5 x 20 x 10.2 mm3 37.5 x 30 x 12 mm3
负载 5N(500g) 3N(300g) 3N(300g)
适合***大真空度 10-6 mbar 10-11 mbar 10-11 mbar
角速度 45度/秒 45度/秒 25度/秒
步进 0.3 – 3.0 m° 0.3 – 3.0 m° 0.3 – 3.0 m°
***大频率 18.5KHZ 18.5KHZ 18.5KHZ
阻尼力Mb 0.5N cm 0.5N cm 3N.cm
***大正向力Fn 5N 3N 3N
旋转台尺寸 Ø 19 mm Ø 15 mm Ø 28 mm
重量 13g 11g 35g
压电旋转定位台SR-1908材料和真空选项
钢底座(-ST)
硬端止动块,样品短管支架
-真空(10-6m Bar)
压电旋转定位台应用案例
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压电旋转定位台搭建的3D晶圆定位系统(4英寸晶圆)

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