纳米定位器SL系列是德国smaract纳米线性定位器产品中尺寸较小的纳米定位台,非常适合各种空间布局有限的纳米定位应用。
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纳米定位器SL系列规格参数
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型号 |
SL-0610 |
SL-0620 |
SL-0630 |
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分辨率 |
<50nm |
<50nm |
<50nm |
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负载 |
3N(100g) |
1N(100g) |
1N(100g) |
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适合真空度 |
10-11 mbar |
10-11 mbar |
10-11 mbar |
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行程范围 |
± 2.25 (4.5) mm |
± 5.5 (11) mm |
± 8 (16) mm |
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步进1 |
1-1500nm |
1-1500nm |
1-1500nm |
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扫描分辨率 |
50 nm |
50 nm |
50 nm |
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速度 |
>15mm/s |
>15mm/s |
>15mm/s |
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***大频率 |
18.5KHz |
18.5KHz |
18.5KHz |
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阻尼力Fb |
>1.6N |
>1.6N |
>1.6N |
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***大正向力Fn |
1N |
1N |
1N |
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***大升力Fl |
0.35N |
0.35N |
0.35N |
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尺寸 |
11x11x5.2 mm3 |
21 x 11 x 5.2 mm3 |
31 x 11 x 5.2 mm3 |
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重量 |
约3g |
约6g |
约9g |
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pitch俯仰力矩Mp |
0.1Nm |
0.1Nm |
0.1Nm |
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yaw偏航力矩My |
0.1Nm |
0.1Nm |
0.1Nm |
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roll扭转力矩Mr |
0.1Nm |
0.1Nm |
0.1Nm |
纳米定位器SL系列可选项目
真空度兼容可选
-HV (10
-6 mbar), UHV / UHVT (10
-11 mbar)
