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高精度定位台
  • 高精度定位台Q-max是美国Nutec公司高分辨率定位工作台保持高精度轨迹控制-孚光精仪

高精度定位台

高精度定位台Q-max是美国Nutec公司制造的高分辨率超级耐用定位工作台,它在水平或垂直方向均可提供短行程高精度定位并保持高精度轨迹控制。
型号:
FPNUT-Q-MAX
品牌:
价格:
¥0.00
类别:
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高精度定位台Q-max是美国Nutec公司制造的高分辨率超级耐用定位工作台,它在水平或垂直方向均可提供短行程高精度定位并保持高精度轨迹控制。
高精度定位台Q-max应用
高精度定位台Q-max非常适合精准轨迹控制的应用,比如半导体光学测量,平板显示测量,微电子测量设备,也作为OEM定位器件集成到这些大系统中,在全球范围内作为OEM器件存在40万套的销量。国际上客户用高精度定位台Q-max在微电子晶圆制造中对液体精密加注,在激光和光学领域,科学家使用它精密控制光路等。
高精度定位台
高精度定位台Q-max特点
精密定位台具有25mm, 50mm 和100mm行程范围
集成高精度线性编码器,分辨率高达12.5nm
Quad-Vee Lock needle传导系统提供恒定支持
滚珠丝杠或滚柱丝杠传导,滞带最小
重复精度高达亚纳米,特别适合Z轴或垂直应用
高精度定位台Q-max规格参数
行程范围:25mm,50mm,100mm
驱动系统:滚珠BSM40
滚珠间距:1mm
最大加速度:受负载影响
最大速度:30mm/s
建议负载:15kg (QMX-25), 30kg(QMX-50),35kg(QMX-100)
反馈系统:非接触式线性编码器系统
重复精度:<=100nm

型号 QMX-25 QMX-50 QMX-100
行程 25 mm 50 mm 100 mm
轨迹控制
精度
标准版精度 ± 2.0 µm ± 3.0 µm ± 4.0 µm
高精度版精度 ± 0.5 µm ± 1.0 µm ± 1.5 µm
直线度/平整度
标准版直线度/平整度 ± 1.0 µm ± 2.0 µm ± 3.0 µm
高精度版直线度/平整度 ±0.5µm ±0.5µm ±0.5µm
Yaw/Pitch/Roll
标准版Yaw/Pitch/Roll 5 arc-sec 7.5 arc-sec 9 arc-sec
高精度版Yaw/Pitch/Roll 4 arc-sec 5 arc-sec 6 arc-sec
极高精度Yaw/Pitch/Roll* 3 arc-sec 4 arc-sec 5 arc-sec
分辨率
线性编码器 标准品 50nm
  可选参数 联系我们索取
旋转编码器 @1 mm lead 100nm
  @5 mm lead 50.8nm
XY二维定位台系统
标准品正交性 20 arc-sec 20 arc-sec 20 arc-sec
高精度版正交性 10 arc-sec 10 arc-sec 10 arc-sec
极高精度版正交性 5 arc-sec 5 arc-sec 5 arc-sec

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