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大型科研级手动探针台
  • 科研级大型手动探针台-大型晶圆探针台适合14英寸半导体晶圆测量应用-孚光精仪公司

大型科研级手动探针台

这款科研级大型手动探针台一款专为半导体领域设计的大型晶圆探针台,它可用于高达14''半导体晶圆的测量,并在全球范围内首次实现XYZ,theta多维控制。这款大型手动探针台提供一种连续使用的工具,它可以提供XYZ,Theta的控制,并采用Z轴反向驱动技术控制Z轴运动。它的多功能性,极高的性价比和简化操作的设计是得它成为最受欢迎的手动探大型手动探针台针台。
型号:
FPDCO-D14
品牌:
孚光精仪
价格:
¥0.00
类别:
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

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这款科研级大型手动探针台一款专为半导体领域设计的大型晶圆探针台,它可用于高达14''半导体晶圆的测量,并在全球范围内首次实现XYZ,theta多维控制。这款大型手动探针台提供一种连续使用的工具,它可以提供XYZ,Theta的控制,并采用Z轴反向驱动技术控制Z轴运动。它的多功能性,极高的性价比和简化操作的设计是得它成为最受欢迎的手动探大型手动探针台针台。

大型科研级手动探针台

 

大型手动探针台特点

Model D14 Analytical Probe Station
最近的若干年中,一些价格适中,操作方便的探针台从笨重而昂贵的探针台系列中脱颖而出,成为探针台发展的主流方向。这些新型探针台非常方便用户的使用,极大提高了用户效能和测量速度,同时也为研发工程师提供了多功能方案。 我们设计的这款探针台的价格仅为传统探针价格的2/3, 为客户提供了操作简单的手动探针台方案。

probe, vacuum control, device rotation, probe station vacuumStraight-forward use:  这款大型手动探针台采用直线向前运动设计,操作非常简单容易,更加方便晶圆装卸,真空样品台控制,样品旋转,捆绑探针用于可重复的图案化。用户不需要学习软件,因为它采用了常见的显微镜取代视频相机,用户直接在视场找到探针就可测量。 

 

Small Footprint probe station: 这款大型手动探针台可用于所有实验室环境和工艺环境。 它的尺寸是39''长, 26''宽,19.5''高,非常适合空间狭小的测试环境,操作人员可距离探针台更近操作。 

 

大型科研级手动探针台Crucial features to make your job easier: 大型手动探针台的样品台吸盘可旋转380度而没有反冲问题,因此样品台真空吸盘可以反过来使用也不需要调整真空。这个14英寸的样品真空吸盘可一次性同时安装4个6英寸的晶圆,非常方便各个晶圆的比较测量。所有的探针都可定位到14英寸真空吸盘表面的任何位置,这就不需要用户因为探针位不足导致的探针样品再定位问题发生。所有的同心环真空都是彼此独立,这样就实现了所有17个对角真空控制多个装置同时测量。
大型手动探针台的定位器特别设计,压力不会突发性地压着探针冲向样品。手动探针台采用了龙门式设计结构,可以负载重量更大的样品。

 

 

 

大型手动探针台配置

典型的配置包括:D14 探针台,真空泵 (vacuum up to 29 in. Hg (31 mbar),显微镜 (Olympus奥林巴斯显微镜: 6.7X - 45X放大倍数)其他显微镜 (Olympus: 16X – 112X, Olympus: 19X – 135X). 

14英寸/(355.6mm) 卡盘
独立真空控制3", 6", 8". 10", 12" and (14") 晶圆直径
17个独立操作真空位置用于校准标定衬底或其它器件
真空致动与卡盘真空位置的一对一关联
探测探头独立
两个独立的Z轴升降装置
无后冲theta 控制并带有锁住手柄
独立的XYZ三轴精调用于最大程度准直
独立的粗调 X, Y, Z, Θ
背部可驱动X控制功能
超低桌面设计金6.25英寸高度
占用空间小,长度x宽仅39x26英

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