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  • 五轴真空位移台是为真空环境使用设计的真空五轴位移台,它代表着我公司高精度定位台系统的较高水平,是真空环境中多轴多维位移定位系统的理想工具。
  • 晶圆装卸操作台 FPSMAR-3DR

    品牌:孚光精仪 价格:0.00
    晶圆装卸操作台是专业为4英寸晶圆装卸,晶圆搬运,晶圆取放等晶圆操作操纵设计的晶圆装卸定位台系统。它采用XYZ三维定位台和360度旋转台集成而成。
  • 多自由度微操纵定位平台采用纳米旋转台和纳米定位平台搭建成的精密复杂定位系统,非常适合纳米操纵,纳米操作,微纳操纵研究应用。
  • 纳米定位台系统 FPSAMR-POS

    品牌:孚光精仪 价格:0.00
    纳米定位台系统采用纳米直线位移台和纳米旋转台搭建成各种纳米定位系统,包含了二维XY纳米定位台,三维微操作定位台,三维XYZ纳米定位台,多角度旋转定位台系统。
  • 6维多轴定位台系统 FPSMA-SMARGON

    品牌:孚光精仪 价格:0.00
    6维多轴定位台系统是晶体六自由度定位设计的纳米六轴角位台系统和万向角度定位仪器,提供多角度多维度定位能力,非常适合大分子晶体学研究的晶体定位和精确样品重新定向,可以在同步加速器设备和X射线簇源中优化数据采集功能,并成功用于瑞士光源MX(SLS)项目.
  • 晶圆定位台 FPSMAR-wafer200

    品牌:孚光精仪 价格:0.00
    晶圆定位台Wafer200采用德国并联机器人hexapod提供并联动力学晶圆定位平台功能,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。
  • 六维并联微动平台 FPSMAR-P-SLL

    品牌:孚光精仪 价格:0.00
    六维并联微动平台P-SLL采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学微动平台功能,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。
  • 六自由度并联微定位台 FPSMAR-P-SLC-24

    品牌:孚光精仪 价格:0.00
    六自由度并联微定位台P-SLC-24采用德国六自由度并联微纳平台hexapod提供六轴并联动力学纳米定位,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。分辨率<1nm,最大负载1000g (10N),最大真空度:10^-11mbar,重复精度(xyz全行程)±200 nm,重复精度(Θxyz全行程)±10urad。
  • 六自由度并联机器人 FPSMAR-P-SLC-17

    品牌:孚光精仪 价格:0.00
    六自由度并联机器人P-SLC-17采用德国hexapod六轴并联动力学机器人技术,提供六自由度并联平移台功能,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。
  • 六自由度并联平台 FPSMAR-POD225.75

    品牌:孚光精仪 价格:0.00
    六自由度并联平台225.75采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学机器人式定位平台,提供六自由度平台操纵能力,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。分辨率<1nm,最大负载1000g (10N),最大真空度10^-11mbar,重复精度(xyz全行程)±200 nm,重复精度(Θxyz全行程)±10urad
  • 六轴并联位移台 FPSMAR-POD110.45

    品牌:孚光精仪 价格:0.00
    六轴并联位移台110.45采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学机器人式定位,提供六自由度操纵能力,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。分辨率<1nm,,最大负载:500g (5N),最大真空度:10^-11mbar,重复精度(xyz全行程)±200 nm,重复精度(Θxyz全行程)±10urad
  • 六轴并联定位台 FPSMAR-pod115.25

    品牌:孚光精仪 价格:0.00
    六轴并联定位台115.25采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联运动机器人式定位,提供六自由度操纵能力,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。分辨率<1nm,最大负载:250g (0.25N),最大真空度:10^-11mbar,重复精度(xyz全行程)±200 nm,重复精度(Θxyz全行程)±10urad
  • 六轴并联定位平台 FPSMAR-pod70.42

    品牌:孚光精仪 价格:0.00
    六轴并联定位平台70.42采用德国六自由度并联机器人hexapod提供六轴并联动力学机器人式定位,提供六自由度操纵能力,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。分辨率<1nm,最大负载500g (5N),最大真空度:10^-11mbar。重复精度(xyz全行程)±200 nm,重复精度(Θxyz全行程)±10urad.
  • 主动对准微装配系统Microassembly是高精度全自动纳米微操作机器人,能够在多轴上精确定位,抓取和对准,满足自动化微装配应用要求,非常适合光学激光快轴准直FAC应用。
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