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微型激光直写光刻机
  • 微型激光直写光刻机Dilase250-桌面型高分辨率激光光刻系统采用375nm或405nm紫外光源-孚光精仪公司

微型激光直写光刻机

微型激光直写光刻机是全球领先的桌面型高分辨率激光光刻系统,它通过固定连续的375nm或405nm紫外光源在光刻胶或紫外敏感胶中直接刻划获得微纳结构,直写面积高达4英寸,最小特征尺寸(宽度)可达1微米。晶圆直写面积:1-4英寸
型号:
FPKLOE-Dilase250
品牌:
孚光精仪
价格:
¥0.00
类别:
进口光刻机
在线客服邮箱 info@felles.cn 服务热线 4006-118-227, 021-51300728 您也可网站留言或在线客服留言垂询,孚光精仪-领先的进口精密仪器服务商欢迎您!

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微型激光直写光刻机是全球领先的桌面型高分辨率激光光刻系统,它通过固定连续的375nm或405nm紫外光源在光刻胶或紫外敏感胶中直接刻划获得微纳结构,直写面积高达4英寸,最小特征尺寸(宽度)可达1微米。
微型激光直写光刻机
微型激光直写光刻机提供竖直和扫描直写模式,确保直接轨迹偏离小于100nm。微型激光直写光刻机具有电动光学聚焦系统,提供快速精准的聚焦功能,从而适合各种厚度衬底的要求,并具有晶圆装载和卸载系统装备到衬底室供客户选配,增强清洁程度,提高工作量和用户安全程度。
微型激光直写光刻机兼容大多数商用光刻胶,比如SU8,shipley, AZ等,我们还对K-CL胶特别优化,用于微结构应用。
微型激光直写光刻机
微型激光直写光刻机特色
非常紧凑的桌面型设计
掩膜制作和激光直写
激光光源375nm 或405nm 任选
兼容所有商用光刻胶
对比度高达1x20
自动聚焦
竖直直写或扫描直写模式

微型激光直写光刻机参数
直线直写速度:>100mm/s
位移台分辨率:100nm
重复精度:100nm
晶圆直写面积:1-4英寸
衬底厚度:150um-5mm
激光光斑大小:1um-50um
标准准直精度:1um
form factor: 10
微型激光直写光刻机

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